Es folgen drei Druckstationen, in denen jeweils einer der drei Wafer flächig mit Aluminiumpaste bedruckt wird. Durch den relativ gleichmäßigen Anpressdruck beim Bedrucken wird die Bruchrate der Wafer beim Tampondruckverfahrens gegenüber dem Siebdruckverfahren erheblich reduziert.
Der frei programmierbare Servoantrieb erlaubt eine optimale Pastenaufnahme- und -abgabezeit mit hohem Pastenauftrag bei hoher Taktrate. Mit einem Bildverarbeitungssystem wird anschließend die Oberfläche des Drucks sowie die Lage auf dem Wafer kontrolliert. Schlechtteile werden ausgeschleust, Gutteile auf ein Förderband zum Trockenofen der weiteren Bearbeitung übergeben. Die Anlage arbeitet im 24-h-Dreischichtbetrieb und bedruckt ca. 2500 Teile/h.
Die Vorteile des Tampondrucks
Gegenüber dem Siebdruckverfahren bietet die Tampondruckmaschine eine deutlich niedrigere Bruchrate der empfindlichen Wafer bei hoher Taktrate. Weitere Vorteile sind eine höhere Verfügbarkeit der Anlage durch kürzere Reinigungszeiten und reduzierte Verbrauchsmaterialkosten durch die höheren Standzeiten der Tampons und Klischees.